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組織・研究分野

ナノ知能システム [島津] 研究室

教員・職員

[PHOTO.1] 教授 島津 武仁
(学際科学フロンティア研究所)
[PHOTO.2] 技術補佐員 魚本 幸
(学際科学フロンティア研究所)

 本研究領域では,超高真空技術を利用した清浄雰囲気中の薄膜形成による構造制御技術を用いて, 材料開発からデバイス応用に至る研究を行っています.

室温接合技術(原子拡散接合法)の提案と実用化(新デバイス形成)

 ウエハの室温接合技術は,電子回路等を形成したウエハや異種ウエハの接合等に有用であり,将来の高機能電子デバイスや, パワー用デバイス,光学デバイス等を作成する上で重要です. 我々は,接合するウエハ等の表面に薄い微結晶金属膜を形成し,その表面エネルギーと原子再配列現象を利用して, 室温でウエハを接合する原子拡散接合法を提案し,その基礎特性とデバイス形成への応用に関する研究を展開しています.

大きな磁気異方性Kuを持つ機能性薄膜の開発(次世代HDD・メモリ応用)

 情報爆発社会を支えるデータセンターの基幹ストレージ(磁気ハードディスク)の更なる高密度化に向けて, 我々は,清浄雰囲気中での規則合金薄膜の低温形成技術を利用したL10-FePt規則合金グラニュラ媒体の基礎研究や, マイクロ波アシスト磁化反転を応用した新しいグラニュラ媒体の基礎研究を行っています.

東北大学 電気・情報系
〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉 6-6-05
TEL : 022-795-7186(教務係)
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