300mmウェハ対応 フル・オート・プローバー

300mm口径ウェハ対応フル・オート・プローバー。予め入力しておいたプログラムに従い、ウェハの搬送から位置決め、針当て、測定を全て自動で行うプローバー装置です。また、サーモチャックによりウェハの温度を50℃～200℃の間で可変させて測定が行えます。