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保有する専門技術②：　評価技術と設備

本研究室では、新しい材料・デバイスを試作するだけでなく、それらの光・電気・温度・機械物性などを正確に評価します。それらの物性を作製工程にフィードバックするとともに、システム構築に生かすことで、ソフトマターエレクトロニクスの研究開発を効率的に進めています。

評価実験に使用する主な測定・観察装置は、以下の通りです。

8. DR-M2（ATAGO)

多波長アッベ屈折計

（アタゴ・DR-M2）

屈折角の評価により、液晶などの有機材料の屈折率とその波長依存性を測定します。

接触角測定装置

（Nick・LSE-ME2）

基板表面上の液体形状をカメラで撮影して接触角を測定することにより、基板表面のぬれ性を評価します。

抵抗率計

（三菱化学アナリテック・MCP-T700）

四探針プローブを用いて塗布膜などの抵抗率やシート抵抗を測定します。

コーンスピンドル型

回転粘度計

(英弘精機・DV2T/CP-52)

粘性を有する液体・ゲル状物質に対してせん断応力を加えることにより、粘度を評価します。

縦型電動計測

90°剥離試験機

(イマダ・MX2、90°治具付)

接着フィルムの剥離方向を一定方向に保ったまま荷重を印加し、剥離強度（密着性）をJIS規格に基づいて評価します。

6	3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡（キーエンス・VE-8000）	電子ビームの２次元走査に伴う２次電子放出を検出して（SEM）、基板や高分子などの表面構造を評価します。
7	原子間力顕微鏡 naio AFM （Nanosurf社, スイス）	微小なプローブで試料表面を走査しながら、試料表面の凹凸構造をナノレベルで分析する表面観察装置です。カンチレバーの選定により、プローブと試料を直接接触させて表面を捉える手法と、非接触で走査する手法との切り替えが可能です。
8	レーザー顕微鏡（キーエンス・VK-9710）	共焦点顕微鏡観察により、光学素子の微細形状の測定を行います。
9	白色干渉顕微鏡 Contour GT （Bruker社）	光学系内部の参照光と試料表面の反射光の位相差で生じる干渉縞から、試料表面の微細な形状を評価する装置です。
10	偏光顕微鏡（オリンパス・BX51）	光学デバイスの微小領域における複屈折やその面内分布を評価します。
11	偏光顕微鏡（オリンパス・BX50）	液晶デバイスの応答特性を測定します。
12	偏光顕微鏡（オリンパス・BH-2）	液晶デバイスの電圧-透過率特性、波長-透過率特性を測定します。
13	顕微分光システム（ラムダビジョン・LVmicroVI／TU）	液晶デバイスの光学特性、および応答特性の測定を全自動で行います。

14	顕微鏡取付け用モノクロカメラ（アンドール・ Zyla 4.2 Plus sCMOS）	液晶デバイスの微小領域輝度（透過率）や過渡応答画像を評価します。
15	実体顕微鏡+ USBカメラ L-50 (HOZAN)	パターニングした配線の表面形態や寸法等を撮影した写真から評価する装置です。1.5倍と2.5倍の倍率で観察可能です。
16	レーザーダイオード式超高輝度光源 LA-HLF100 (ハヤシレピック社)	赤・緑・青・白色のそれぞれの光の切り替えが可能であり、約8000lmの高い光量を出力する装置です。
17	小型恒温観察装置 (INSTEC・TS102W)	試料温度を精密に制御しながら顕微鏡観察や紫外線露光を行う装置です。

13. mk1000（INSTEC)

温度制御装置

（INSTEC・mk1000）

ホットステージ

（INSTEC・HCS)

有機デバイスの温度制御を行います。光の入射角度が広く、光学素子の視野角特性と温度特性を同時に評価できます。

分光光度計

（日立・U-4000）

液晶デバイスや光学フィルム等の透過スペクトルを波長帯域240nm～2600nmで測定します。

20	紫外可視近赤外分光光度計（日本分光・V-770ST）	液晶デバイスや光学フィルム等の透過スペクトルを190nm～2700nmの波長域で測定します。
21	蛍光スペクトル・蛍光量子効率評価装置 RF-6000 （島津製作所）	可視光領域における薄膜や溶液試料の蛍光強度を測定します。積分球を使用して蛍光効率の評価が可能です。
22	分光エリプソメータ（J.A.ウーラム・M-2000)	液晶デバイス、および光学フィルムの位相差特性の評価、液晶材料の屈折率、極角アンカリング強度、捻れ弾性定数K22を測定します。
23	分光放射計（トプコン・SR-UL1）	表示デバイスの輝度特性、分光特性の評価を行います。
24	応答速度検出器（トプコン・RD-80S）	液晶などの表示デバイスの時間応答特性を測定します。
25	光放射角分布測定装置（オートロニック・CONOSCOPE）	光の出射角を位置情報に変換する特殊な光学系により、液晶ディスプレイの視野角特性、コントラスト比を測定します
26	反射特性測定装置（中央精機）	ゴニオメトリ式の光学系を用いて、反射型デバイスにおける拡散反射分布特性を測定します。

高速光ディテクタ

（Cremo Vision・　

CV-RS110）

受光した光（可視、近赤）をアナログ電圧に変換して出力します。マイクロ秒オーダーの応答を測定できます。

28	マニュアルプローバー（Micronics・　　MODEL705A）	先端の細い探針を手動で走査し、薄膜トランジスタの電極部など微細領域に対して電気的な接触を取る装置です。
29	小型直流電源（Wanptek・KPS305D）	デバイスに対して設定した直流電圧（30V以下）を発生する装置です。
30	２ｃｈソースメーター（KEITHLEY・2014B）	直流の印加電圧に対する微小電流の変化を自動計測します。薄膜トランジスタの出力特性・伝達特性を評価します。
31	任意波形発生器（YOKOGAWA・AG1200）	任意の電圧波形を発生して、液晶などの電子デバイスに印加します（4チャンネル同時出力）。
32	プレシジョンLCRメータ（ヒューレットパッカード・4284A）	電子デバイスの電圧-容量特性より、液晶材料の弾性定数と誘電率を測定します。
33	LCRメータ（エヌエフ回路設計ブロック・ZM2372）	高速で回路のインピーダンスを計測し、回路パラメータの経時変化や周波数特性を評価します。
34	2ポート型ベクトルネットワークアナライザ P5008A （Keysight社）	高周波帯域の電磁波を発生させ、電波の透過係数と反射係数を測定する装置です。対応周波数: 100kHz～53GHz