システムの特徴

　
非破壊・非接触的に測定できる
測定サンプルに対して純水をカプラとして使用するため、非破壊・非接触で測定が行えます。
　
　
高精度に測定できる
漏洩弾性表面波(LSAW)の位相速度（音速）を高精度に計測できます。
　　　相対精度：±0.001%　　　　絶対精度：±0.01%
　
　
物質中に含まれるわずかな不純物濃度や、材料の化学組成の不均一を検出できる
音速は、物質の弾性特性を反映します。また弾性特性は、物質の原子または分子間力に起因する特性です。従って、極限にまで音速の測定精度を高めたLFB-UMCシステムは、物質内のわずかな不純物濃度の変化や、材料の化学組成の不均一を検出することができます。
　
　
物質表面の弾性的異方向を測定できる
漏洩弾性表面波(LSAW)の伝搬方向を一方向に限定できることから、材料表面の弾性的異方性を検出することができます。
　
　
微小領域かつ広い走査範囲
約0.5 mm2の領域を200 mm×200 mmの走査範囲で、材料表面の微小な弾性特性の分布を計測することができます。