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保有する専門技術①：　作製技術と設備

本研究室では、液晶・高分子・有機半導体・有機導電体・絶縁体などの機能性材料（ソフトマター）を合成・加工・処理して、新しい材料・デバイスを開発します。それにより、新しい有用な機能を見いだせれば、材料・デバイスで構成される既存のシステムを一変できる可能性があります。

本研究室の試作実験に用いる主な処理・作製装置は、以下の通りです。

卓上型2周波

超音波洗浄器

(24 kHz/31k Hz)

（アズワン・VS-D100）

デバイスに用いる基板表面の汚れを、超音波を利用して洗浄します。

9. Dry Boy(NIKKA SEIKO)

温風乾燥機

（日化精工・Dry Boy）

有機洗浄をした基板を乾燥させます。

3	紫外線洗浄装置 (オーク製作所・UM-3073-F-00)	有機物を分解して、基板の洗浄を行います。
4	真空プラズマクリーナー（酸素プラズマ） Cute 1MP （Femto Science社）	真空中で電離した気体によるエッチング効果を利用して試料表面を洗浄する装置です。処理面の親水性を改善します。
5	小型真空蒸着装置（サンユー電子・ SVC-700）	高真空環境(10^-4 Pa)を作り、その中で材料を加熱・昇華させ、5cm角以下の大きさの基板上に数十nm～数百nmの厚みで薄膜を形成する装置です。
6	RFマグネトロンスパッタ装置（徳田製作所・ CFS-4ES）	電子デバイスに透明電極等などの無機薄膜を堆積させます。
7	高精度電子天秤（エーアンドディー・ GR-60）	材料の重さを秤量し、溶液濃度を調整するために用います。
8	ホットスターラー（アズワン・RSH-6DN）	調整した溶液を加熱しながら、攪拌子を用いて均一に溶解させる装置です。6分割式で、それぞれ独立に制御可能です。
9	スピンコーター (MIKASA・MS-150A)	回転塗布法により、100mm角までの基板に配向膜などの薄膜を形成します。

10	ホットスピンコーター（押鐘・SC-155HP）	基板や溶液を温めた状態で塗布膜を形成します。
11	卓上バーコーター（安田精機製作所・542-AB-H）	様々な基板上に、微細溝のある棒で液体物を一方向に掃引することで、均一な塗布膜を形成します。
12	静電塗布装置マイクロミストコーター PDR-04-SS1PD/SH （ナガセテクノエンジニアリング社）	シリンジの吐出口に高電圧を印加し、液滴を帯電させながら導電性基板にスプレー塗布する装置です。液滴を帯電させることで、マイクロメートルオーダーの微細な液滴形成による噴霧が可能です。
13	定温恒温器（ヤマト科学・DK400T）	液晶用配向膜の焼成を行います。
14	恒温器AT-S13 （いすゞ製作所・DK400T）	液晶用配向膜の焼成を行います。
15	強制循環式イナートオーブン（いすゞ製作所・VTEC-18-I）	槽内に窒素を流しながら不活性環境下で、高分子などの高温焼成を行います。
16	ラビング装置 (NR-10 Type4)	140mm角までの基板の配向処理を行います。
17	ラビング装置 (RM-50)	100mm角までの基板の配向処理を行います。

18	小型シールディスペンサ（武蔵エンジニアリング・shot mini）	基板にシール剤を塗布します。
19	シール剤塗布装置（武蔵エンジニアリング・TCU-01s・ML-606X）	基板にシール剤を塗布します。
20	UV露光装置 (ケンコー・SUPERCURE-352S)	紫外線硬化樹脂、紫外線重合型液晶性モノマーを用いた、液晶デバイスの作製を行います。
21	平行露光紫外線照射機 (JATEC)	平行度の高い紫外線露光により、モノマーを重合・硬化して、様々な高分子および液晶デバイスの作製を行います。
22	UVスポット光源（山下電装・HYPERCURE-200）	紫外線硬化樹脂、紫外線重合型液晶性モノマーを用いた、液晶デバイスの作製を行います。
23	真空液晶注入装置（アオバサイエンス・LCS-300）	大気と真空の圧力差を用いて液晶セルに液晶材料を注入します。

24	超小型YVO4 レーザーマーカー (KEYENCE・MD-V)	レーザー光照射による急速な溶融・揮発を利用して、各種対象物への微細なパターニング加工を行います。
25	真空デシケータ (アズワン・RVD-250)	容器内を真空ポンプで減圧して基板を乾燥したり、粘性の高い液体に混入した気泡を除去したりします。
26	超音波半田ごて（SUNBONDER・ USM-Ⅲ・栄信工業）	超音波振動を利用して、ガラスやプラスチック基板の液晶・電子デバイスに、半田付けを行います。
27	3Dプリンタ L-DEVO M4040TP （Fusion Technology社）	パソコンで設計した任意形状の立体構造物を、溶融樹脂のノズルコート（ノズル径: 0.4mm）により作製する装置です。