テレビのIFフィルタ用に開発されたSAWデバイスとして、ガラス基板上にZnO膜を形成した構造のデバイスがあります。開発された当初、量産化する際にそのフィルタの中心周波数がばらつくという歩留まり低下の問題が、発生してしまいました。この問題に対し、LFB-UMCシステムで、デバイス作製前のガラス基板の漏洩弾性表面波(LSAW)速度を測定してみたところ、上図のようにLSAW速度がガラス基板間で大きくばらつくことがわかりました。ガラス基板の特性がばらついてしまうと、いくらその基板上に良いZnO膜を形成しても、最終的なフィルタの特性がばらついてしまうのです。