上図は、市販のTiO
2
-SiO
2
超低膨張ガラス基板の表面の漏洩弾性表面波(LSAW)速度を計測した例です。縞状に見える0.9 mm周期の速度分布は、ガラス内の脈理の原因となるTiO
2
濃度の変動を反映したものです。最大約20 ppb/KのCTE変動を、ここではLSAW速度の変化として検出することができました。この基板の脈理による分布は、光学的手法を用いて検出できるレベルではありません。本システムは、感度が圧倒的に高いため、従来技術では全く不可能であったこのような計測ができるようになりました。