LFB-UMCシステムは、漏洩弾性表面(LSAW)速度を計測することでCTEを間接的に計測します。LSAW速度は試料表面近傍の特性を反映しており、反射光学系で使用されるEUVLグレードの超低膨張ガラスを評価するには最適です。また、試料温度を変化させることなく、CTEの２次元分布を非破壊・非接触的に高精度に計測できるので、新しくガラス材料を開発する際に必要となるCTE均一性の評価や、製造時の検査・品質管理のための評価には、強力なツールとなります。現在、目標分解能として±0.1 ppb/Kを達成するための技術改良も進みつつあります。