2月18日(水) |
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開会の挨拶 梅村晋一郎(東北大) |
10:40-10:45
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A.
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生体応用 座長:荒川元孝(東北大) |
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A-1
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「光音響イメージングセンサに向けたZnO透明膜とV添加ZnO透明導電膜の積層堆積」 ○森達哉,川島知之,鷲尾勝由 (東北大) |
10:45-11:05
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A-2
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「超音波照射による骨中誘発電位の極性について」 ○常田裕子1,松川沙弥果1,真野功1,水野勝紀1,2,柳谷隆彦1,3,高柳真司1,松川真美1 (1同志社大,2東大,3名工大) |
11:05-11:25
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A-3
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「音波&超音波刺激の長寿装置は実現出来るか?」 ○山下洋八,佐々木勇翔,唐木智明 (富山県立大) |
11:25-11:45
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---------- 休憩 ---------- |
11:45-12:45 |
B.
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薄膜作製 座長:大橋雄二(東北大) |
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B-1
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「陽極RFバイアス法による2次モード(000-1)/(0001)ScAlN FBAR」 ○鈴木雅視,柳谷隆彦 (名工大) |
12:45-13:05
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B-2
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「Sc-Al合金ターゲットによるScAlN薄膜のスパッタ堆積 〜窒素ガス流量の影響について〜」 ○隅坂将大1,山崎健太1,藤井知1,大森達也1,唐供賓1,2,鈴木雄3,大友将平3,橋本研也1 (1千葉大,2上海交通大,3フルヤ金属) |
13:05-13:25
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B-3
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「ScAlN薄膜における弾性定数テンソルのSc濃度依存性」 ○柳谷隆彦1,市橋隼人2,鈴木雅視1,高柳真司2,松川真美2 (1名工大,2同志社大) |
13:25-13:45
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B-4
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「高性能圧電MEMSセンサのためのc軸配向PMnN-PZTエピタキシャル薄膜の Si基板上への形成」 ○吉田慎哉1,半澤弘明1,和佐清孝2,田中秀治1 (1東北大,2横市大) |
13:45-14:05
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I.
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招待講演1 座長:橋本研也(千葉大) |
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I-1
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「MEMS技術の弾性波デバイス応用」 ○木村悟利 (日本電波工業) |
14:10-14:50
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---------- 休憩 ---------- |
14:50-15:10 |
C.
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圧電特性評価 座長:柳谷隆彦(名工大) |
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C-1
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「走査型非線形誘電率顕微法による層状構造圧電薄膜の極性評価」 ○小田川裕之1,寺田浩士朗1,西川宏明1,柳谷隆彦2,長康雄3 (1熊本高専,2名工大,3東北大) |
15:10-15:30
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C-2
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「Si(001)面の異方性を利用した誘電体薄膜の弾性定数推定」 ○坂本賢亮1,大森達也1,橋本研也1,櫛引淳一1,2,松田聡3 (1千葉大,2東北大,3太陽誘電) |
15:30-15:50
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C-3
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「SAWフィルタ用オンウェハ耐電力測定系の構築」 ○大原俊介1,大森達也1,橋本研也1,堤潤2 (1千葉大,2太陽誘電) |
15:50-16:10
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C-4
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「圧電振動におけるハイパワー特性評価」 劉耀陽,尾崎亮平,○森田剛 (東大) |
16:10-16:30
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C-5
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「基板付き圧電薄膜のkt評価法の比較 〜共振反共振法、共振スペクトル法および変換損失による方法〜」 ○小林勇太1,鈴木雅視1,柳谷隆彦1,荒川元孝2,大橋雄二2 (1名工大,2東北大) |
16:30-16:50
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---------- 懇親会 ---------- |
17:10-19:10 |
2月19日(木) |
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D. | 単結晶 座長:垣尾省司(山梨大) |
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D-1
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「高キュリー温度Bi(Me)O3-PbTiO3単結晶薄膜の構造と強誘電特性」 ○和佐清孝1,半澤弘明2,吉田慎哉2,田中秀治2,足立秀明3,松永利之3 (1横市大,2東北大,3パナソニック) |
9:00-9:20
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D-2
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「ランガサイト系単結晶Ca3NbGa3-xAlxSi2O14の育成と高温特性評価」 宋勝傑1,小林正和1,唐木智明1,藤井正1,○安達正利1,大橋雄二2,櫛引淳一2 (1富山県立大,2東北大) |
9:20-9:40
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D-3
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「Ca3Ta(Ga1-xAlx)3Si2O14単結晶育成と圧電特性評価」 工藤哲男1,○横田有為1,大橋雄二1,庄子育宏2,Andry Medvedev1,鎌田圭1,2, 黒澤俊介1,吉川彰1,2 (1東北大,2C&A) |
9:40-10:00
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D-4
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「Ca3Ta(Ga0.5Al0.5)3Si2O14単結晶のAl置換効果による音響特性への影響の検討」 ○大橋雄二1,工藤哲男1,横田有為1,庄子育宏2,黒澤俊介1,鎌田圭1,2,吉川彰1,2 (1東北大,2C&A) |
10:00-10:20
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---------- 休憩 ---------- |
10:20-10:40 |
E.
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SAWデバイス 座長:小田川裕之(熊本高専) |
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E-1
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「ランガサイト型圧電単結晶を用いた弾性波デバイス作製に関する一考察」 井上憲司1,江口治1,○天野宏之1,佐藤拓也1,伊藤正敏1,大橋雄二3, Andry Medvedev3,工藤哲男3,横田有為3,庄子育宏2,3,黒澤俊介3,鎌田圭1,2,3,吉川彰1,2,3 (1Piezo Studio,2C&A,3東北大) |
10:40-11:00
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E-2
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「超広帯域ラダーフィルタとその応用」 ○門田道雄,田中秀治 (東北大) |
11:00-11:20
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E-3
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「Enhancement of Effective Electromechanical Coupling Factor by Mass Loading in Layered SAW Device Structures」 ○唐供賓1,2, ![]() (1上海交通大学,2千葉大,3デンソー) |
11:20-11:40
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E-4
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「すだれ状電極を用いたチューナブルトランスバーサルフィルタ及び チューナブル共振器・フィルタの解析と実験」 ○山之内和彦 (東北大) |
11:40-12:00
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---------- 休憩 ---------- |
12:00-13:00 |
I.
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招待講演2 座長:近藤淳(静岡大) |
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I-2
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ボールSAWセンサとその応用 ○山中一司 (東北大) |
13:00-13:40
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F.
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セラミック等 座長:安達正利(富山県立大) |
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F-1
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「ビスマス系非鉛圧電セラミックスにおけるハイパワー圧電特性の温度依存性」 ○永田肇,染野晋也,山本吉胤,竹中正 (東理大) |
13:45-14:05
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F-2
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「ポーラス非鉛系圧電セラミックス作製と評価」 馬場亮祐,○唐木智明,藤井正 (富山県立大) |
14:05-14:25
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F-3
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「アモルファスTa2O5薄膜装荷Y-X LiTaO3上のラブ波型弾性表面波」 ○垣尾省司,深沢遼,保坂桂子 (山梨大) |
14:25-14:45
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F-4
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「水晶発振回路における振動子追加位置による位相雑音の改善」 ○鈴木瞭,佐藤隆幸,渡部泰明 (首都大学東京) |
14:45-15:05
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---------- 休憩 ---------- |
15:05-15:25 |
G.
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センサ応用 座長:長谷川英之(東北大) |
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G-1
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「ボールSAWセンサを用いた小型・高速・高感度な微量水分計の開発」 ○辻俊宏,渡邊圭,東出祐介,大泉透,竹田宣生,赤尾慎吾,塚原祐輔,山中一司 (東北大) |
15:25-15:45
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G-2
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「横波型弾性表面波を用いた血液凝固反応の測定と数値解析を用いた検討」 日下雄大,○近藤淳 (静岡大) |
15:45-16:05
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G-3
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「広域加熱・局所冷却による閉じたき裂の超音波フェーズドアレイ映像化の定量解析」 ○高橋恒二,猪慶弘,小原良和,山中一司 (東北大) |
16:05-16:25
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G-4
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「共焦点サブハーモニック超音波フェーズドアレイを用いた閉口き裂映像化と 減衰二重節点モデルによる解析」 ○菅原あずさ,神納健太郎,小原良和,山中一司 (東北大) |
16:25-16:45
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G-5
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「界面での屈折・モード変換を用いたき裂評価のための分調波フェーズドアレイの開発」 大内彬寛,齋藤樹里,○小原良和,山中一司 (東北大) |
16:45-17:05
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閉会の挨拶 梅村晋一郎(東北大) |
17:10-17:15 |