試料作製

• 
  DC/RFマグネトロンスパッタ装置1号機
  （エイコー製)
• 
  DC/RFマグネトロンスパッタ装置2号機
  （エイコー製)
• 
  RFスパッタ装置（ULVAC製）
• 
  イオンミリング装置（和泉テック製）
• 
  高温熱処理炉（サーモ理工製)

試料評価

• 
  原子間力/磁気間力顕微鏡（Park製)
• 
  インピーダンスアナライザ（ウィンカー製)
• 
  プローバーMR測定装置
• 
  ボンダーMR測定装置
• 
  ボンディング装置（超音波工業製)
• 
  発振特性測定装置
• 
  スペクトルアナライザー、直流電源
• 
  ネットワークアナライザー
• 
  磁気特性測定装置MPMS
  （カンタムデザイン製)
• 
  電気磁気効果測定装置
• 
  アッシャー
• 
  マスクアライナー
• 
  スピンコーター置
• 
  光学顕微鏡